作為溫度測量領域重要的儀表,熱電偶因其快速響應、線性輸出等優點一直得到廣泛應用。而近年來出現的wafer晶元熱電偶,具有更多的創新優勢,受到越來越多的關注。
首先,wafer晶元熱電偶在尺寸方面有明顯優勢。其體積小,正反兩面均可焊接,不僅可用于細小測量環境,還能實現測量的短距離化。此外,其整體結構不含外圍連接線,可節約頁面空間,提高系統整體集成度。
在靈敏度和響應速度方面,wafer晶元熱電偶也有不俗表現。其薄膜層厚度在幾微米級別,使得溫度測量的靈敏度有了顯著提升。加之wafer本身就有良好的熱傳導性質,使得其響應速度更快,能夠做到較高頻率的溫度測量。
此外,wafer晶元熱電偶的制造工藝也比較靈活。通過改變所用材料或工藝參數可以調整其輸出信號特征。例如改變層厚度可以調節靈敏度和線性度,而引入限制層則可增加輸出的穩定性。
總的來說,wafer晶元熱電偶在成本、尺寸、響應速度、信噪比等方面都有所超越,在很多領域具有廣泛應用前景。
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